製品
自社開発商品
●深紫外線LEDバータイプモジュールキット
深紫外線LEDを260個搭載したバータイプの照射モジュールと、電源機能と照射制御機能(照射点灯状態のGUI機能)、冷却用ラジエータを持つ駆動コントローラで構成される、表面殺菌装置向け「評価用深紫外線LEDモジュールキット」
●評価用深紫外線LEDモジュールキット
深紫外線LEDを36個搭載した照射モジュールと、電源機能と照射制御機能(照射点灯状態のGUI機能)を持つ駆動コントローラで構成される、深紫外線LEDによる殺菌・不活化効果の検証環境を提供する「評価用深紫外線LEDモジュールキット」
メーカー基本情報
- 会社名
東京エレクトロン デバイス株式会社
- 所在地
神奈川県横浜市
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