| 1965年 |
東京エレクトロン株式会社で電子部品（フェアチャイルド社など）の販売を開始 |
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| 1985年 | 設計開発センター 開設 |
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| 1990年9月 |
東京エレクトロンデバイス株式会社で、電子部品の販売業務を開始 |
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| 1998年7月 | 東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の全ての事業を譲受け、販売を開始 |
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| 2003年3月 | 東京証券取引所 市場第二部に上場 |
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| 2004年1月 | 中国・上海に子会社の上海華桑電子有限公司（通称：TED上海）を設立 |
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| 2004年6月 | 「自社開発商品」「設計・量産受託サービス」の提案をブランド化し、ブランド名「inrevium(インレビアム)」としてスタート |
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| 2005年1月 | 中国・香港に子会社の香港華桑電子有限公司（通称：TED香港）を設立 |
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| 2006年10月 | 東京エレクトロン株式会社からコンピュータ・ネットワーク事業を承継し、販売を開始 |
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| 2008年1月 | シンガポールに子会社のTokyo Electron Device Singapore Pte. Ltd.（通称：TEDシンガポール）を設立 |
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| 2008年2月 | 国内販売子会社としてパネトロン株式会社を設立 主にテキサス・インスツルメンツ社製品を販売 |
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| 2010年12月 | 東京証券取引所 市場第一部に上場 |
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| 2012年3月 | TED香港を東電電子零件亞太區有限公司(通称：TED APAC）に改称 |
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| 2013年9月 | アメリカ・シリコンバレーにinrevium AMERICA,Inc.(現：TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立 |
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| 2015年10月 | タイ・バンコクにTOKYO ELECTRON DEVICE(THAILAND)LIMITED(通称：TEDタイ)を設立 |
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| 2016年4月 | アメリカ・シリコンバレーにTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA,INC(現：TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立 |
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| 2017年7月 | 株式会社アバール長崎（現：東京エレクトロン デバイス長崎株式会社）を連結子会社化 |
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| 2018年7月 | パネトロン株式会社を吸収合併 |
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| 2018年7月 | 株式会社ファーストを連結子会社化 |
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| 2019年5月 | TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA,INCを吸収合併 |
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| 2022年4月 | 東京証券取引所の市場区分見直しにより、プライム市場に移行 |
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| 2023年10月 | 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社よりウェーハ検査装置事業を譲受ける |
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