Infineon Technologies / センサー
圧力センサー
MEMS技術を用いた小型の圧力センサーです。
気圧センサーとして使用した場合は最大±2cmの高度(0.002hPa) 精度で測定可能です。
また防水(IPx8)機能を有した製品もラインアップしているので高湿度の環境下でも使用可能です。
圧力センサーとしては車載向けで側面衝突検知(SAB)やタイヤ空気圧センサー(TPMS)もラインアップしております。
MEMS気圧センサーの原理はシリコンチップに微細な真空室を設けて、ダイヤフラムの変位によって気圧を測定します。温度補償素子やADC、DSPと統合することによって、超小型で高精度のデジタル出力センサーを実現しています。
変位の検出には静電容量方式を採用しており温度特性が良好で消費電流も小さいという利点があります。
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