ニュースリリース

報道関係各位

2021年6月23日
東京エレクトロン デバイス株式会社

AI技術によるインプロセス管理で加工品の良否を判定、歩留まり改善を実現
〜株式会社ケイエステックが時系列データ分析システムCX-Mを導入〜

東京エレクトロン デバイス株式会社 (本社:横浜市神奈川区、代表取締役社長:徳重 敦之、以下TED)の時系列データ自動分析マシン「CX-M」が、株式会社ケイエステック(本社:富山県立山町、以下 ケイエステック)が提供する金属切断機の加工時に良否判定し歩留まり率を改善する「インプロセス管理」システムに採用されました。

インプロセス管理システム概要

従来の生産工程では、「加工」「検査」「完成」の工程において、「加工」と「検査」との間に時間差があるために、加工機によっては「検査」段階で多くの不良品が出てしまうリスクがありました。ケイエステックは、この工程改善のために「インプロセス管理」システムの実現に着手しましたが、「インプロセス管理」には加工時における膨大なAE*1データをもとにした良品・不良品判定を行うデータ分析作業とその成果をシステム化するための作業が必要であり、大きな課題となっていました。

この課題の解決のため、時系列データ自動分析マシン「CX-M」を導入しました。「CX-M」を使い、収集した良品データから、データ特性をもとに切断機の切れ味の変化を高精度で判定する推論モデルを自動で作成することに成功しました。これまで探索的に波形解析などを行い、モデル開発をしなければならなかった作業を大幅に削減し、「インプロセス管理」システムの実現を可能にしました。

*1:AEとは、振動周波数より高い領域の周波数(60 kHz〜1MHz)であり、材料が変形あるいは亀裂が発生する際に、材料に蓄えられていた歪エネルギーを弾性波として放出する現象。この弾性波を材料の表面に設置した変換子、AEセンサで検出し、信号処理を行うことにより材料の破壊過程を評価する方法

TEDでは、予知保全、検査・作業の自動化を実現する製品・サービスの提供により、ものづくりシステムを知能化し、お客様の製品開発・製造の生産性向上に貢献してまいります。

■事例紹介

URL:https://www.inrevium.com/case/cxm5/

■時系列データ自動生成マシン「CX-M」の機能・特長

CX-Mは、予知保全や品質改善を目的に、設備の異常検知、故障予測のための時系列データ分析作業と推論モデル(AI)生成を自動化するマシンです。従来データ分析の専門家(データサイエンティスト)が行っていた分析作業(データ前処理、特徴抽出、機械学習による推論モデル(AI)作成)およびプログラム開発作業を自動化し、素早いデータ活用を実現します。
URL:https://www.inrevium.com/product/cxm/

【東京エレクトロン デバイス株式会社】

東京エレクトロンデバイスは、半導体製品やビジネスソリューション等を提供する「商社ビジネス」と、お客様の設計受託や自社ブランド商品の開発を行う「開発ビジネス」を有する技術商社です。
URL:https://www.teldevice.co.jp/

<本件に関する報道関係からのお問合せ先>

東京エレクトロン デバイス株式会社 総務部広報グループ 堀田・山下
Tel:045-443-4132、Fax:045-443-4050
お問い合わせフォーム:https://www.teldevice.co.jp/cgi-bin/form/contact.php

<本製品に関するお客様からのお問合せ先>

東京エレクトロン デバイス株式会社
PB BU デジタルファクトリー営業部 山中
Tel:045-443-4030、Fax:045-443-4062
お問い合わせフォーム:https://survey.zohopublic.com/zs/lUCsI9

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